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奕叶探针台 以后地位: 主页 > 产品展示 >奕叶探针台>加热卡盘

产品称号:加热卡盘

产品型号: 

  • 产品简介
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假如实行样品必要在差别温度下举行剖析丈量,这时就大概必要热吸盘(Hot Chuck)大概高温(Cryogenic)体系,
在较低温度或高温下还大概必要利用真空罐(Vacuum Chamber)。

热吸盘(Hot Chuck)
1.接纳低噪声直流驱动
2.绝缘套件用于低电流(pA)测试
3. 装备水冷安装,疾速将加热卡盘降至室温
4. 大少数探针台可安置
5. 不需特别毗连适配器即可安置
6. 卡盘材质为不锈钢,以获取最佳均温性,制止重金属沾污
7. 装备温度控制器,可选多种加温曲线
8. 设计有冷却阻遏安装,包管热吸盘温度不会经过金属传导而惹起探针台全体精度降落

规格:
卡盘尺寸 ###', 12” dia. x 1'' Thick
卡盘平展度 +/-10μm
温度范畴 ###;C
温度辨别率 0.1゚C
温度正确度 100゚C,±0.5゚C; 200゚C,±1゚C; 300゚C,±2゚C; 400゚C,±3゚C
从25゚C加热到    
   4英寸卡盘所需工夫(典范值)
100゚C,  150゚C,  200゚C
2:00      3:30     5:00
4英寸卡盘所需工夫  2:00 、  3:30   、5:00  
加热驱动方法 直流
质料 不锈钢
 
 
电源 110 VAC, 60Hz
220 VAC, 50Hz
加热功率 4'' 700W ;  6'' 1000W ;  8'' 1500 W
真空泵 -250 mmHg, 7 liter/min
水流量 20 升/分钟
 
温度控制器
尺寸
分量
 
350mmW x 300mmD x 150mmH
20 kg
 

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